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超纯化学品

超纯化学品

  当今世界最高科技的是微电子,其核心是集成电路IC的制造,在复杂的生产过程中要大量使用硫酸、氢氟酸、乙醇、过氧化氢等超纯化学品。由于IC极其严格的要求是人类工业化生产唯一的,杂质对IC生产是致命的,所用化学品必须是超纯的,其质量要求也是极为苛刻的。HABO为氢氟酸、氢氧化钾、过氧化氢等产品国家标准制定单位之一。

  半导体级过氧化氢应符合下列要求   单位:ppb

项目

规格与指标

SHP

SHP

SHP

SHP

过氧化氢含量

30%-32%   35%-37%    48%-50%

酸度(以H2SO4计)

30000

30000

30000

20000

氯离子(Cl)

1000

300

100

30

硫酸根(SO42-计)

1000

300

100

30

硝酸根 (NO3-)

1000

300

100

30

磷酸根(PO43-计)

1000

300

100

30

(Fe)

100

10

1

0.1

(Cu)

100

10

1

0.1

(Al)

100

10

1

0.1

(Sn)

100

10

1

0.1

(As)

100

10

1

0.1

(Pb)

100

10

1

0.1

(Cr)

100

10

1

0.1

(Cd)

100

10

1

0.1

(Sb)

100

10

1

0.1

(Hg)

100

10

1

0.1

钒(V

100

10

1

0.1

钾(K

100

10

1

0.1

钙(Ca

100

10

1

0.1

(Na)

100

10

1

0.1


指标

指                   标

SHP

SHP

SHP

SHP

(Mg)

100

10

1

0.1

(Ba)

100

10

1

0.1

(Pd)

100

10

1

0.1

(Bi)

100

10

1

0.1

(Co)

100

10

1

0.1

(Ga)

100

10

1

0.1

(Ge)

100

10

1

0.1

(Au)

100

10

1

0.1

(Li)

100

10

1

0.1

(Mn)

100

10

1

0.1

(Mo)

100

10

1

0.1

(Ni)

100

10

1

0.1

(Ag)

100

10

1

0.1

(Pt)

100

10

1

0.1

(Ti)

100

10

1

0.1

(Zn)

100

10

1

0.1

(Pe)

100

10

1

0.1

(B)

100

10

1

0.1

(Si)

100

10

1

0.1

总有机碳(TOC)

40000

30000

20000

20000


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